国家知识产权局信息数据显现，合肥晶合集成电路股份有限公司获得一项名为“一种用于晶圆边际清洗的罩壳结构及清洗机台”的专利，授权公告号CN223786452U，请求日期为2025年1月。

  专利摘要显现，本实用新型供给一种用于晶圆边际清洗的罩壳结构及清洗机台。该罩壳结构设置于待清洗的晶圆上方，用于遮挡溅射的清洗液。该罩壳结构包含罩壳和气体喷嘴，罩壳上设有对应遮挡晶圆边际溅射清洗液的溅射遮挡区。气体喷嘴设置于罩壳内，且用于与气源衔接向溅射遮挡区喷发气体，以将溅射至溅射遮挡区的清洗液吹落至晶圆以外的区域。经过气体喷嘴向溅射遮挡区喷发保护气体，对溅射到溅射遮挡区的清洗液液珠吹扫，防止清洗液液珠溅射到溅射遮挡区后的二次溅射或反流，防止晶圆外表有用区遭到污染。一起防止多种清洗液混合反响形成在溅射遮挡区结晶，削减工程师在对机台腔室进行预防性保护过程中的保护担负和工作量。

  天眼查资料显现，合肥晶合集成电路股份有限公司，成立于2015年，坐落合肥市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200613.5157万人民币。经过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外出资了10家企业，参加招投标项目634次，产业线条，此外企业还具有行政许可22个。

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